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经营范围
发明名称
SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6063367(A)
申请公布日期
1985.04.11
申请号
JP19830170448
申请日期
1983.09.14
申请人
TOKUDA SEISAKUSHO:KK
发明人
KURIYAMA NOBORU
分类号
C23C14/40;C23C14/54;H01J37/34
主分类号
C23C14/40
代理机构
代理人
主权项
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