| 发明名称 |
VORRICHTUNG ZUM BEFESTIGEN AN EINER VAKUUMBEARBEITUNGSKAMMER FUER LOKALISIERTE VAKUUMBEARBEITUNG EINES WERKSTUECKS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3433491(A1) |
申请公布日期 |
1985.04.11 |
| 申请号 |
DE19843433491 |
申请日期 |
1984.09.12 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOCIATES,INC. |
发明人 |
STEPHEN FOLEY,MICHAEL;FRANCIS PETRIC,PAUL |
| 分类号 |
B01J3/00;H01J37/18;H01J37/317;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20;B23K15/00 |
主分类号 |
B01J3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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