| 发明名称 |
APPARATUS FOR PRODUCING DEPOSITED FILM BY VAPOR PHASE METHOD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS6063375(A) |
申请公布日期 |
1985.04.11 |
| 申请号 |
JP19830168377 |
申请日期 |
1983.09.14 |
| 申请人 |
CANON KK |
发明人 |
FUJIYAMA YASUTOMO;OKABE SHIYOUTAROU |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C14/56;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/505;H01J37/32 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
