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发明名称 HALBLEITERSUBSTRAT UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITERSUBSTRATES
摘要
申请公布号 DE3427977(A1) 申请公布日期 1985.04.11
申请号 DE19843427977 申请日期 1984.07.28
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 MATSUSHITA,YOSHIAKI
分类号 H01L21/70;H01L21/20;H01L21/322;H01L21/8242;H01L27/00;H01L27/10;H01L27/108;H01L29/167;(IPC1-7):H01L21/18;C30B31/00;H01L21/72;C30B25/00;H01L29/36 主分类号 H01L21/70
代理机构 代理人
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