发明名称 PHOTOSENSITIVE COMPOSITION AND PATTERN FORMING PROCESS USING SAME
摘要
申请公布号 EP0043716(B1) 申请公布日期 1985.04.10
申请号 EP19810303053 申请日期 1981.07.03
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 MORISHITA, HAJIME;KOHASHI, TAKAHIRO;NONOGAKI, SABURO;AKAGI, MOTOO;HAYASHI, NOBUAKI;UCHINO, SHOICHI
分类号 G03F7/016;(IPC1-7):G03F7/08;G03C5/00 主分类号 G03F7/016
代理机构 代理人
主权项
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