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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON DOTIERUNGSPROFILEN MIT STEILEM KONZENTRATIONSGRADIENTEN
摘要
申请公布号 DD220812(A1) 申请公布日期 1985.04.10
申请号 DD19840259763 申请日期 1984.02.01
申请人 HUMBOLDT-UNIVERSITAET ZU BERLIN,DD 发明人 KERKOW,HARTMUT,DD;KREYSCH,GUENTER,DD;LUKASCH,BERND,DD;KUDELLA,FRANK,DD;GRIEPENTROG,MICHAEL,DD
分类号 H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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