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发明名称 DEVICE FOR EVALUATING MATERIAL
摘要
申请公布号 JPS6060538(A) 申请公布日期 1985.04.08
申请号 JP19830168812 申请日期 1983.09.13
申请人 KONISHIROKU SHASHIN KOGYO KK 发明人 HARADA TETSUYA;OOTANI HIROSHI;SUZUKI JIYUNKO
分类号 G01N21/00;G01N22/00;H01L21/66 主分类号 G01N21/00
代理机构 代理人
主权项
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