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METHOD AND DEVICE FOR CONTROLLING LOCAL EVAPORATION POWER OF EVAPORATOR ON MANUFACTURING THIN LAYER ON SUBSTRATE BY VACUUM EVAPORATION PROCESS
摘要
申请公布号
JPS6059064(A)
申请公布日期
1985.04.05
申请号
JP19840171683
申请日期
1984.08.20
申请人
RAIBORUTO HEREUSU GMBH
发明人
ARUBERUTO FUOIAASHIYUTAIN;GERUNOOTO TORUN;HORUSUTO RANKE
分类号
C23C14/54;H01J37/302
主分类号
C23C14/54
代理机构
代理人
主权项
地址
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