VERFAHREN ZUR AUFNAHME UND DARSTELLUNG VON SIGNALEN IM INNERN INTEGRIERTER SCHALTUNGEN UNTER BERUECKSICHTIGUNG DER FLANKENSTEILHEIT UND VORRICHTUNG ZUR DURCHFUEHRUNG EINES SOLCHEN VERFAHRENS,申请号DE19833334534-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUR AUFNAHME UND DARSTELLUNG VON SIGNALEN IM INNERN INTEGRIERTER SCHALTUNGEN UNTER BERUECKSICHTIGUNG DER FLANKENSTEILHEIT UND VORRICHTUNG ZUR DURCHFUEHRUNG EINES SOLCHEN VERFAHRENS
摘要
申请公布号	DE3334534(A1)	申请公布日期	1985.04.04
申请号	DE19833334534	申请日期	1983.09.23
申请人	SIEMENS AG	发明人	FAZEKAS,PETER,DIPL.-ING.
分类号	G01R31/26;G01R31/28;G01R31/302;G01R31/319;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01R31/26	主分类号	G01R31/26
代理机构		代理人
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