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发明名称 SOLID THIN-FILM DEVICE PARTITIONING INDICATOR CHAMBER
摘要
申请公布号 JPS6056243(A) 申请公布日期 1985.04.01
申请号 JP19840167962 申请日期 1984.08.13
申请人 MAX PLANK GES ZUR FORDERUNG DER WISSENSCHAFT EV 发明人 NOBERUTO OPITSU;DEIITORIHI BUEE RIYUTSUBAASU
分类号 G01N21/78;G01N21/64;G01N21/75 主分类号 G01N21/78
代理机构 代理人
主权项
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