发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6055605(A) 申请公布日期 1985.03.30
申请号 JP19830164604 申请日期 1983.09.07
申请人 MATSUSHITA DENKI SANGYO KK 发明人 KUROKAWA HIDEO;TAKAO MASATOSHI;MINAMIDE YOSHIHIRO
分类号 C23C14/24;C23C14/22;G11B5/85;H01F41/14 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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