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发明名称
THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6055605(A)
申请公布日期
1985.03.30
申请号
JP19830164604
申请日期
1983.09.07
申请人
MATSUSHITA DENKI SANGYO KK
发明人
KUROKAWA HIDEO;TAKAO MASATOSHI;MINAMIDE YOSHIHIRO
分类号
C23C14/24;C23C14/22;G11B5/85;H01F41/14
主分类号
C23C14/24
代理机构
代理人
主权项
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