发明名称 GETTER-SORPTIONSPUMPE MIT WAERMESPEICHER FUER HOCHVAKUUM- UND GASENTLADUNGSANLAGEN
摘要
申请公布号 DE3332660(A1) 申请公布日期 1985.03.28
申请号 DE19833332660 申请日期 1983.09.09
申请人 SIEMENS AG 发明人 MAEGDEFESSEL,HEINZ,ING.
分类号 F04B37/02;H01J7/18;(IPC1-7):F04B37/02 主分类号 F04B37/02
代理机构 代理人
主权项
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