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发明名称
摘要
申请公布号 DE2815894(C2) 申请公布日期 1985.03.28
申请号 DE19782815894 申请日期 1978.04.12
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 NONOGAKI, SABURO;MORISHITA, HAJIME, TOKIO/TOKYO, JP;HASHIMOTO, MICHIAKI, KOKUBUNJI, JP;MANABE, TOSHIKATSU, OME, JP;TOMITA, YOSHIFUMI;NISHIZAWA, MASAHIRO, MOBARA, JP
分类号 G03F7/016;G03F7/28;H01J9/227;H01J29/22;H01J29/32;(IPC1-7):G03F7/08 主分类号 G03F7/016
代理机构 代理人
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