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发明名称
摘要
申请公布号	JPS6011794(B2)	申请公布日期	1985.03.28
申请号	JP19780149071	申请日期	1978.12.04
申请人	ULVAC CORP	发明人	MATSUMOTO TAISUKE;MATSUDA AKIO;KIKUCHI MORIO
分类号	F26B5/06	主分类号	F26B5/06
代理机构		代理人
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