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经营范围
发明名称
ETCHING TECHNIQUE
摘要
申请公布号
JPS6053027(A)
申请公布日期
1985.03.26
申请号
JP19840155703
申请日期
1984.07.27
申请人
AMERIKAN TEREFUON ANDO TEREGURAFU CO
发明人
JIYOERU MARUKORUMU KUTSUKU;BUINSENTO MAIKERU DONERII;DANIERU ROORENSU FURAMU;DEERU EDOWAADO IBUBOTOSON;JIYON AARON MUCHIYA
分类号
H01L21/302;C04B41/53;C09K13/08;C23C16/44;C23F1/12;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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