发明名称 SELF-MATCHING TYPE MULTI-LAYER LASER STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPS6052080(A) 申请公布日期 1985.03.23
申请号 JP19840167699 申请日期 1984.08.10
申请人 YOKOGAWA HIYUURETSUTO PATSUKAADO KK 发明人 DONARUDO ERUTON AKUREI;REINHAATO DABURIYUU EICHI ENGERUMAN;TERUKO KOBAYASHI INOUE
分类号 H01S5/00;H01L21/285;H01L21/306;H01L29/04;H01S5/042 主分类号 H01S5/00
代理机构 代理人
主权项
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