| 发明名称 |
METHOD OF PLASMA SURFACE TREATMENT AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6050923(A) |
申请公布日期 |
1985.03.22 |
| 申请号 |
JP19830157826 |
申请日期 |
1983.08.31 |
| 申请人 |
HITACHI SEISAKUSHO KK |
发明人 |
SUZUKI KEIZOU;NINOMIYA TAKESHI;NISHIMATSU SHIGERU;OKUDAIRA SADAYUKI;OKADA OSAMI |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/511;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/318;H01L21/3213 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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