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发明名称 METHOD OF FORMING A PATTERN EMPLOYING A PHOTOSENSITIVE COMPOSITION
摘要
申请公布号 EP0042704(B1) 申请公布日期 1985.03.20
申请号 EP19810302620 申请日期 1981.06.12
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 MORISHITA, HAJIME;KOHASHI, TAKAHIRO;HAYASHI, NOBUAKI;AKAGI, MOTOO;UCHINO, SHOICHI;NONOGAKI, SABURO
分类号 G03C1/52;C09B67/36;G03C5/18;G03F7/28;H01J9/227;H01J29/22;H01L21/027;(IPC1-7):G03C1/54 主分类号 G03C1/52
代理机构 代理人
主权项
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