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发明名称 PATTERN DATA HANDLING SYSTEM
摘要
申请公布号 GB8503986(D0) 申请公布日期 1985.03.20
申请号 GB19850003986 申请日期 1982.10.04
申请人 VARIAN ASSOCIATES INC 发明人
分类号 H01L21/30;H01J37/302 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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