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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6049662(A) 申请公布日期 1985.03.18
申请号 JP19830157339 申请日期 1983.08.29
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 OOYA SHIYUUICHI
分类号 H01L21/318;H01L21/822;H01L21/8247;H01L27/04;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
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