发明名称 PROCESSO PER LA FABBRICAZIONE DI PELLICOLE ISOLANTI PRIVE DI IRREGOLARITA SPERFICIALI
摘要
申请公布号 IT1067421(B) 申请公布日期 1985.03.16
申请号 IT19760026264 申请日期 1976.08.13
申请人 IBM CORP 发明人
分类号 C04B41/87;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/34;C23C14/40;G11B5/31;H01L21/31;H01L43/02;(IPC1-7):H01B/ 主分类号 C04B41/87
代理机构 代理人
主权项
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