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发明名称 DETECTOR FOR EXTENT OF SHIFT IN PATTERN POSITION
摘要
申请公布号 JPS6046402(A) 申请公布日期 1985.03.13
申请号 JP19830154581 申请日期 1983.08.24
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 MORISHITA JIYOU
分类号 G01B11/00 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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