Device for testing the surfaces of plate-shaped work pieces.

摘要

Zur Prüfung plattenförmiger Werkstücke auf aus der Oberfläche herausragende Partikel (40) werden die Werkstücke (36) mittels eines beweglichen Haltekopfes (13, 42) auf eine Grundplatte (10) gelegt, und mittels im Haltekopf befindlicher Abtastelemente (26, 28, 30) wird die Lage der unteren Anlagefläche des Haltekopfes relativ zur oberen Fläche des auf der Oberfläche der Grundplatte aufliegenden Werkstücks ermittelt. Die hierbei von den Abtastelementen abgegebenen Signale kennzeichnen Vorhandensein und Lage von Partikeln auf der Werkstückfläche.