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经营范围
发明名称
마이크로파 프라즈마 처리방법 및 그 장치
摘要
내용 없음.
申请公布号
KR850000901(A)
申请公布日期
1985.03.09
申请号
KR19840003648
申请日期
1984.06.27
申请人
null, null
发明人
후지무라 슈조 (외 1)
分类号
H05H1/46;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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