发明名称 마이크로파 프라즈마 처리방법 및 그 장치
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申请公布号 KR850000901(A) 申请公布日期 1985.03.09
申请号 KR19840003648 申请日期 1984.06.27
申请人 null, null 发明人 후지무라 슈조 (외 1)
分类号 H05H1/46;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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