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发明名称 ANTIREFLEXIONSUEBERZUG FUER OPTISCHE LITHOGRAPHIE
摘要
申请公布号 DE3428565(A1) 申请公布日期 1985.03.07
申请号 DE19843428565 申请日期 1984.08.02
申请人 GENERAL ELECTRIC CO. 发明人 FREDERICK GRIFFING,BRUCE
分类号 G03F7/09;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/88;G03F7/00;H01L21/32 主分类号 G03F7/09
代理机构 代理人
主权项
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