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发明名称 VERFAHREN ZUR DETEKTION THERMISCHER WELLEN IN EINEM PRUEFLING.
摘要
申请公布号 DE102730(T1) 申请公布日期 1985.03.07
申请号 DE19830304271T 申请日期 1983.07.22
申请人 THERMA-WAVE, INC., FREMONT, CALIF., US 发明人 ROSENCWAIG, ALLAN, DANVILLE CALIFORNIA 94526, US
分类号 G01N21/00;G01N21/17;G01N25/00;G01N25/18;G01N25/20;(IPC1-7):G01N25/00;G01N21/41 主分类号 G01N21/00
代理机构 代理人
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