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发明名称 VERBESSERTES VERFAHREN ZUR AUFBRINGUNG EINES HALBLEITERMATERIALS AUF EIN SUBSTRAT
摘要
申请公布号 DE3430379(A1) 申请公布日期 1985.03.07
申请号 DE19843430379 申请日期 1984.08.17
申请人 TRANSAMERICA DELAVAL INC., LAWRENCEVILLE, N.J., US 发明人 FRY, PETER WILLIAM, DORCHESTER, DORSET, GB
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01C17/00;G01L1/20;G01D5/16;G01B7/18 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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