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发明名称 VERFAHREN ZUR BILDUNG EINES ABSCHEIDUNGSFILMS
摘要
申请公布号 DE3429899(A1) 申请公布日期 1985.03.07
申请号 DE19843429899 申请日期 1984.08.14
申请人 CANON K.K. 发明人 HIROOKA,MASAAKI;OGAWA,KYOSUKE;ISHIHARA,SHUNICHI;SHIMIZU,ISAMU
分类号 C23C16/24;C23C16/448;C23C16/452;G03G5/082;H01L21/205;H01L31/20;(IPC1-7):C23C11/02;G03G5/14 主分类号 C23C16/24
代理机构 代理人
主权项
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