COMBINATIONAL MOLECULAR PUMP CAPABLE OF READILY BEING CLEANED,申请号EP19840105770-传众专利搜索

发明名称	COMBINATIONAL MOLECULAR PUMP CAPABLE OF READILY BEING CLEANED
摘要
申请公布号	EP0129709(A3)	申请公布日期	1985.03.06
申请号	EP19840105770	申请日期	1984.05.21
申请人	ANELVA CORPORATION;OSAKA VACUUM, LTD.	发明人	TAKADA, JUNJI C/O ANELVA CORPORATION;KANETO, SHIGERU;IGUCHI, MASASHI
分类号	F04D19/04;(IPC1-7):F04D19/04	主分类号	F04D19/04
代理机构		代理人
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