| 发明名称 |
METHOD OF PRODUCING INTEGRATED CIRCUIT STRUCTURE USING REPLICA PATTERNING |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS6041231(A) |
申请公布日期 |
1985.03.04 |
| 申请号 |
JP19840086284 |
申请日期 |
1984.05.01 |
| 申请人 |
FAIRCHILD CAMERA & INSTRUMENT CORP |
发明人 |
ROBAATO ERU BERII |
| 分类号 |
H01L21/306;H01L21/033;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/331;H01L29/73;H01L29/732 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
