| 发明名称 |
VERHINDERUNG DER OXIDATIONSMITTELDIFFUSION BEI DER HERSTELLUNG VON HALBLEITERSCHICHTANORDNUNGEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3329074(A1) |
申请公布日期 |
1985.02.28 |
| 申请号 |
DE19833329074 |
申请日期 |
1983.08.11 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
BUSSMANN,EGON,DIPL.-PHYS.DR.RER.NAT. |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/3115;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/32;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/32;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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