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发明名称 METHOD OF MAKING PROFILES OF ION DAMAGE SUSCEPTIBILITY
摘要
申请公布号 SU865063(A1) 申请公布日期 1985.02.28
申请号 SU19802908687 申请日期 1980.04.10
申请人 INST YADERNOJ FIZ AN KAZSSR 发明人 REUTOV V.F.,SU;VAGIN S.P.,SU
分类号 H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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