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发明名称 CLEANED CHAMBER DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6036837(A) 申请公布日期 1985.02.26
申请号 JP19840119993 申请日期 1984.06.13
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 TAKAHASHI KOUZOU;YAGI KATSUTO;ISAYAMA YUUJI
分类号 F24F7/06 主分类号 F24F7/06
代理机构 代理人
主权项
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