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发明名称
摘要
申请公布号
JPS606903(B2)
申请公布日期
1985.02.21
申请号
JP19770108986
申请日期
1977.09.10
申请人
NIPPON ELECTRIC GLASS CO
发明人
HATANO KAZUO
分类号
C03C3/066;C03C3/074;C03C8/24;C03C10/04;H01L21/316;H01L23/29;H01L23/31
主分类号
C03C3/066
代理机构
代理人
主权项
地址
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