发明名称 X-RAY COLLIMATOR AND EXPOSING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6034018(A) 申请公布日期 1985.02.21
申请号 JP19830144126 申请日期 1983.08.06
申请人 CANON KK 发明人 KAWAI YASUO;KARIYA TAKUO
分类号 G03F7/20;G21K1/02;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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