发明名称 |
PROCESS FOR THE MANUFACTURE OF FIELD-EFFECT TRANSISTORS WITH SELFALIGNED GATE ELECTRODE, AND TRANSISTORS MADE BY THIS PROCESS |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0054998(B1) |
申请公布日期 |
1985.02.20 |
申请号 |
EP19810201350 |
申请日期 |
1981.12.11 |
申请人 |
LABORATOIRES D'ELECTRONIQUE ET DE PHYSIQUE APPLIQUEE L.E.P.;N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN |
发明人 |
MEIGNANT, DIDIER |
分类号 |
H01L29/80;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/338;H01L29/423;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/28;H01L29/60 |
主分类号 |
H01L29/80 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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