发明名称 PROCESS FOR THE MANUFACTURE OF FIELD-EFFECT TRANSISTORS WITH SELFALIGNED GATE ELECTRODE, AND TRANSISTORS MADE BY THIS PROCESS
摘要
申请公布号 EP0054998(B1) 申请公布日期 1985.02.20
申请号 EP19810201350 申请日期 1981.12.11
申请人 LABORATOIRES D'ELECTRONIQUE ET DE PHYSIQUE APPLIQUEE L.E.P.;N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 MEIGNANT, DIDIER
分类号 H01L29/80;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/338;H01L29/423;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/28;H01L29/60 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
主权项
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