| 发明名称 |
SISTEMA PER LA FABBRICAZIONE DI CIRCUITI MICROELETTRONICI |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IT1063968(B) |
申请公布日期 |
1985.02.18 |
| 申请号 |
IT19760023422 |
申请日期 |
1976.05.20 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
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| 分类号 |
H01J37/305;H01J37/30;H01J37/302;H01L21/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L/ |
主分类号 |
H01J37/305 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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