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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5539902(B2) 申请公布日期 1980.10.14
申请号 JP19740001131 申请日期 1973.12.29
申请人 发明人
分类号 C04B41/91;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/314;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 C04B41/91
代理机构 代理人
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