发明名称 FORFARANDE FOR FRAMSTELLNING AV ETT HALVLEDARELEMENT I STAND ATT UTHERDA HOGA SPENNINGAR
摘要
申请公布号 SE437309(B) 申请公布日期 1985.02.18
申请号 SE19780000782 申请日期 1978.01.23
申请人 HITACHI LTD 发明人 N * MOMMA;H * TANIGUCHI
分类号 H01L29/73;H01L21/223;H01L21/331;H01L29/08;H01L29/10;H01L29/36;H01L29/74;H01L29/861;(IPC1-7):H01L21/04 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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