发明名称 PROCEDIMENTO PER LA FABBRICAZIONE DI CIRCUITI INTEGRATI
摘要
申请公布号 IT1064171(B) 申请公布日期 1985.02.18
申请号 IT19760021525 申请日期 1976.03.24
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人
分类号 H01L21/76;H01L21/00;H01L21/283;H01L21/32;H01L21/762;H01L23/485 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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