发明名称 DEVICE FOR TECHNOLOGICAL CONTROL OF SEMI- CONDUCTOR STRUCTURES
摘要
申请公布号 BG36811(A1) 申请公布日期 1985.02.15
申请号 BG19830061280 申请日期 1983.06.09
申请人 STAVREV,GEORGI A.;GRNEV,KHRISTO K.;JJORDANOV,RUMEN S.;LILOV,ALEKSANDR C.;DIMITROV,DIMITR N. 发明人 STAVREV,GEORGI A.;GRNEV,KHRISTO K.;JJORDANOV,RUMEN S.;LILOV,ALEKSANDR C.;DIMITROV,DIMITR N.
分类号 B07C5/08;G01R31/26;(IPC1-7):B07C5/08 主分类号 B07C5/08
代理机构 代理人
主权项
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