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摘要
申请公布号
DE3120196(C2)
申请公布日期
1985.02.14
申请号
DE19813120196
申请日期
1981.05.21
申请人
LEYBOLD-HERAEUS GMBH, 5000 KOELN, DE
发明人
HEINEN, RAYMOND, DIPL.-ING. DR., 5000 KOELN, DE;STELLING, HORST, ING.(GRAD.), 5024 PULHEIM, DE
分类号
G01N27/62;H01J49/42;H03J7/04;(IPC1-7):H03J7/04;H03B1/02
主分类号
G01N27/62
代理机构
代理人
主权项
地址
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