发明名称
摘要
申请公布号 JPS5860934(U) 申请公布日期 1983.04.25
申请号 JP19810156458U 申请日期 1981.10.20
申请人 发明人
分类号 F24F7/06;H01L21/02 主分类号 F24F7/06
代理机构 代理人
主权项
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