| 发明名称 |
DISK OR WAFER HANDLING AND COATING SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2143546(A) |
申请公布日期 |
1985.02.13 |
| 申请号 |
GB19840018027 |
申请日期 |
1984.07.16 |
| 申请人 |
* VARIAN ASSOCIATES INC |
发明人 |
DONALD REX * BOYS;WALTER EDGAR * GRAVES |
| 分类号 |
H01L21/677;B65G49/07;C23C14/56;G11B5/85;G11B5/851;H01L21/02;H01L21/203;H01L21/67;(IPC1-7):C23C15/00 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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