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发明名称 EINRICHTUNG ZUR STRAHLFUEHRUNG BEI DER ELEKTRONENSTRAHLBEARBEITUNG VON FILMWIDERSTANDSNETZWERKEN
摘要
申请公布号 DD218808(A3) 申请公布日期 1985.02.13
申请号 DD19820245151 申请日期 1982.11.23
申请人 FORSCHUNGSINSTITUT MANFRED VON ARDENNE,DD 发明人 BAHR,GOTTFRIED,DD;DOEHLER,HEINZ,DD;LANDGRAF,GUENTHER,DD;PANZER,SIEGFRIED,DD;HENNEBERGER,JUERGEN,DD
分类号 H01J37/302;(IPC1-7):H01J37/302 主分类号 H01J37/302
代理机构 代理人
主权项
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