发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6027509(A) 申请公布日期 1985.02.12
申请号 JP19830137026 申请日期 1983.07.27
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 SUGIKI TADASHI
分类号 B28D5/00;H01L21/301;H01L21/78 主分类号 B28D5/00
代理机构 代理人
主权项
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