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PURPOSE:To prevent scattered substances from a processing material from being sticked to a lens and a work by an electrode disposed between an objective condenser and the work.
申请公布号
JPS605395(B2)
申请公布日期
1985.02.09
申请号
JP19770042692
申请日期
1977.04.15
申请人
HITACHI LTD
发明人
ASAI OSAMI;YAMAGUCHI HIROSHI;PPONGO MIKIO;MYAUCHI TAKEOKI
分类号
B23K26/16;H01S3/00
主分类号
B23K26/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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