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发明名称 LOW TEMPERATURE PROCESS FOR DEPOSITING OXIDE LAYERS BY PHOTOCHEMICAL VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号 SG33584(G) 申请公布日期 1985.02.08
申请号 SG19840000335 申请日期 1984.04.25
申请人 HUGHES AIRCRAFT CO 发明人
分类号 C01G1/02;C01B13/14;C01B13/20;C01B33/12;C01B35/12;C01F7/02;C23C16/40;C23C16/48;C30B25/00;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/225;H01L21/316;H01L21/473;(IPC1-7):H01L21/205;H01L21/268 主分类号 C01G1/02
代理机构 代理人
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