发明名称
摘要
申请公布号 JPS616537(B2) 申请公布日期 1986.02.27
申请号 JP19770146302 申请日期 1977.12.05
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORP 发明人 TANAKA YOSHIMI;NAKAGAWA SHOICHI
分类号 H01L21/306;H01L21/302 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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