| 发明名称 |
MAGNETRON CATHODE FOR CATHODIC EVAPORATION INSTALLATIONS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2143255(A) |
申请公布日期 |
1985.02.06 |
| 申请号 |
GB19840016905 |
申请日期 |
1984.07.03 |
| 申请人 |
* LEYBOLD-HERAEUS GMBH |
发明人 |
JORG * KIESER;REINER * KUKLA;GERD * DEPPISCH |
| 分类号 |
C23C14/36;C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):C23C15/00 |
主分类号 |
C23C14/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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